根據被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風(fēng)的作用下，極區由于負壓的作用，按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實(shí)現低溫等離子體。
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